毎年、約１万人の学生がこのSemiconductor Equipment Technology Education Centerに入学し、半導体と太陽電池生産のトレーニングを受けています。大部分の学生は学部生ですが、このセンターでは、半導体製造会社で働く外部の研修生、研究者、教師、社員も受け入れています。同教育センターは、ノウハウと施設という点で、韓国でナンバーワンと見なされています。

トレーニングは1年を通して実施されるため、同センターでは圧縮空気と窒素を24時間365日利用できるようにする必要があります。半導体の製造では窒素が重要な役割を果たしますが、窒素は非常に危険なガスで、窒息を引き起こす可能性があります。その上、非常に爆発性が高く、きわめて慎重に取り扱う必要があります。

「多くの学校や小規模な研究機関では、コスト上の理由から液体窒素を使用していますが、液化窒素の取り扱いにはリスクが伴います。私たちは独自の窒素生成装置を現場に設置しています。その方がコスト効率もよいですから」と、テクニカルサポートチームマネジャーのチョルホ・イム氏は言います。

「私たちのラボでは、重大な爆発が2回発生しました。幸い、死傷者は出ませんでしたが、重要な機械部品を交換しなければなりませんでした。言うまでもなく、安全性と信頼性が最優先事項であるため、新しいプロバイダーを探すことにしました。プロバイダーを探す中、アトラスコプコがエアコンプレッサだけでなく窒素発生装置も提供していることを知りました。アトラスコプコのエアコンプレッサが非常に優れていることは分かっていたので、信頼性が保証されていると感じました」とチョルホ・イム氏は語ります。

2019年12月、同センターはアトラスコプコの窒素発生装置システムと窒素供給コンプレッサを設置しました。このソリューションは、すでに使用しているアトラスコプコのオイルフリーエアコンプレッサと組み合わせて、超クリーン半導体製造室に窒素と圧縮空気を供給するものです。

「新しい機械設置後は、少量の圧縮空気でもほぼ完璧な純度を示しています」とソキル・ユン主任研究員は述べています。「オイルや埃を適切にろ過することは不可欠です。汚染があると、窒素発生装置と、接続されたパイプラインが爆発する可能性があります。また、半導体製造につながるラインが汚染されている場合は、すべての機器を交換する必要があります。これは、コストと時間の両方がかかります。新しいソリューションでは、これはもはや問題ではありません」