阿特拉斯·科普柯集团杂志
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屏幕之星
您看到的手机、显示器或电视上的平板显示屏,很可能在制造过程中使用了 iXL900R 干式真空泵。
当您拿起手机回复短信或浏览最新的社交媒体信息时,您可能不太会联想到固体电子学。然而,平板显示屏是现代技术的伟大成就之一。如果没有它,就不会有手机显示屏,您就无法在平板电视上观看喜爱的节目,也无法使用笔记本电脑工作。
这些供应全球市场的屏幕全部由东亚的几家公司在庞大的“工厂(fabs)”内制造,这些工厂可能横跨超过一公里。由阿特拉斯·科普柯集团旗下的 Edwards 公司制造的一款名为 iXL900R 的干式真空泵产品在这些屏幕生产过程中发挥着重要作用。
平板显示器必须在真空环境中制造,以确保质量、洁净度以及制程控制。为了使玻璃面板从大气压达到工艺腔所需的真空压力,它要先经过一个真空装载腔,在这里,真空泵系统将降低腔室压力并保持工艺洁净。然而, 这些泵在整个设施中所消耗的总能源中所占的比例高达20%。
“我们的一位客户告诉我,他们的一家加工厂消耗的能源相当于一个中小型城市。任何电力问题都可能影响到整个地区的电网。”半导体事业部业务发展副总裁 Chris Shaw 说道,他在 2012 年集团首次开发此类干泵时曾担任干泵产品经理。
他继续说:“在许多制造业发达的国家,电价是根据国内市场制定的。当韩国气温达到-20 ℃或台湾气温达到40℃时,人们需要大量使用家用供暖装置或空调,但政府没有足够的能源来支持人们这样做,也没有足够的经济能力让人们随心所欲地使用,他们几乎都在限电。”
“因此,确实需要提高能效,以确保满足人们日常生活需求的同时,实施他们的能源策略,此外还要满足不断增长的环保需求。” Chris Shaw 说。
“我们起初假设抽空过程可以用两台泵而不必用四台泵来完成。”Paul Neller 解释说,他现在担任半导体事业部营销副总裁,当时他还是干式真空泵的新产品推广经理。
iXL900R
干式真空泵
主要特点:低能耗,高性能泵,可延长机台运行时间,降低环境影响并带来成本效益。
出色性能:尺寸小,运行安静,但足够强劲,性能相当于两台之前型号的泵。
行业应用:半导体和平板制造。
*相关计算基于产品数据,将我们全新的技术与我们传统的技术进行比较。设备安装数量是根据全球市场假设进行估算的。碳足迹计算器:点击这里
“这样可以节省大量能源,减少占地面积,并降低支持腔室抽空真空泵所需的电力及公用设施成本。因此,我们的技术小组希望实现更大化单位面积内的产能及每千瓦能耗的产能。”
虽然该产品于 2014 年在集团首次推出,但 Paul 和 Chris 仍记忆犹新,因为它是在阿特拉斯·科普柯集团旗下 Edwards 公司真正转型时推出的。
“这一时期,我们已经开始从由工程师管理的纯技术性的新产品介绍(NPI)转向具有更多的项目管理理念、项目经理和跨业务的多学科团队。每周一次的项目会议都有相关人员参加。”Paul 说。
“在这个项目中,我们还在韩国建立了一个 NPI 团队。他们逐渐开始接管我们在英国的生产商业化生产流程。如今,位于苏塞克斯的英国工厂负责干泵的核心技术,然后由位于韩国天安的工厂接手,但这个项目对那里的团队来说是一个真正的学习曲线。即使几年后我遇到韩国的团队,大家还是会提到它。”Paul 说道,“别忘了,我们没有像现在这样的视频会议技术,所以也存在沟通挑战,尤其是在冬季,英国和韩国之间有 9 个小时的时差。”
Chris Shaw 表示,市场营销与研发之间的“重要关系”始终存在于一种“创造性紧张”的状态中。“有时很紧张,甚至有点受不了,但也很有意思。”他说,“这种紧张关系对于为客户创造价值和实现利润增长至关重要。”
iXL900R 可取代两台老型号的泵。使用能力更强的泵可以节省能源,这意味着客户可以显著降低运营成本。根据 iXL900R 干式真空泵在 2019 年的累计运行时间,与前一代 iXL500 泵相比,节省了 26.8 GWh,约为 19,000 公吨二氧化碳。
“你在任何地方看到的平板屏幕,都有可能在生产过程中使用了我们的设备,无论是你的手机、显示器还是电视。”Paul 说,“当想到世界上有多少个屏幕以及它们的用途时,你就会觉得这真的很了不起!”
我们起初假设抽空过程可以用两台泵而不必用四台泵来完成。这样可以节省大量能源,减少占地面积,并降低支持腔室抽空真空泵所需的电力及公用设施成本。因此,我们的技术小组希望实现更大化单位面积内的产能及每千瓦能耗的产能。”
Chris Shaw
半导体事业部业务发展副总裁
认识我们的创新人员
Chris Shaw
半导体事业部业务发展副总裁
您是怎样加入阿特拉斯·科普柯集团的?
我一直想在科学、工程和技术市场领域工作。我曾是一家公司的合伙人,但当生意不景气时,我开始四处寻找在科学、技术和工程公司工作的机会,突然间我有了一种奇怪的想法,作为 Edwards 的老客户那么多年了,我居然从未为他们工作过。当进行研究的时候,我意识到他们失去了一些他们以前会赢得的业务。我有一种冲动,想看看我是否能加入这个团队并帮助他们,而现在,我就在这里,成了阿特拉斯·科普柯大家族的一员。
Paul Neller
半导体事业部营销副总裁
您在工作中的动力是什么?
一切都与我们的产品所能做到的事情有关。当您思考技术的变化和增长速度以及半导体设备正在为世界做什么时,无论是更快的计算能力或是更好的屏幕和设备,还是医疗保健或自动驾驶汽车等等,我认为这都是一个令人兴奋的行业。我们的产品所能做到的事情就是我的主要动力。
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